流量測(cè)量范圍廣:可測(cè)量氣體和液體流量,氣體最小流量范圍為 5~50mL/min(nor),最大為 6~60L/min(nor);液體最小范圍是 5~50mL/min,最大為 0.2~2L/min。
測(cè)量精度較高:指示精度在量程范圍 10:1 時(shí)為 ±3% F.S.。
適用范圍廣泛:適用于半導(dǎo)體制造工藝中的各種氣體流量測(cè)控,也可用于對(duì)防泄漏要求高的生產(chǎn)線。
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì):體積小重量輕,節(jié)省安裝空間,便于安裝和日常保養(yǎng)維修。指示器結(jié)構(gòu)具有防水防塵功能,可在惡劣環(huán)境下使用。
材質(zhì)多樣:材質(zhì)包括鋁、碳鋼、不銹鋼(304SS,316SS)、PVC、鐵氟龍等,能適應(yīng)不同腐蝕性流體的測(cè)量需求。
壓力溫度適應(yīng)性較好:流體壓力最高可達(dá) 0.8MPa,流體溫度最高為 120℃,具體因密封材質(zhì)而異。
具備報(bào)警功能:可提供帶報(bào)警觸點(diǎn)輸出的類型,如 reed switch(干簧管開關(guān))類型的警報(bào)接點(diǎn),滿足不同報(bào)警需求。
連接方式豐富:流量計(jì)管徑為 6mm(1/8”)~20mm(3/4”),可方便地與不同的管道系統(tǒng)連接。